GB/T 19955.1—2005 蒸汽流真空泵性能測量方法

GB/T 19955.1—2005 蒸汽流真空泵性能測量方法

GB/T 19955.1—2005 蒸汽流真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量

Vapour vacuum pump—Measurement of performance characteristics—Part 1:Measurement of volume rate of flow(pumping speed)

(ISO 1608-1:1993,IDT)

GB/T 19955《蒸汽流真空泵性能測量方法》分為兩個部分：

第一部分：體積流率(抽速)的測量；

第二部分：臨界前級壓力的測量；

本部分為GB/T 19955的第一部分。

本部分等同于采用ISO 1608-1：1993《蒸汽流真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量》(英文版)

本部分代替JB/T 8472.1-1996《蒸汽流真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量》

一、范圍

GB/T 19955的本部分規(guī)定了測量蒸汽流真空泵體積流率的方法。

本部分所涉及的泵由下列三種油、汞蒸汽組成：

擴(kuò)散泵

噴射泵

增壓泵(即泵能在分子流和層流范圍工作，具有擴(kuò)散泵和噴射泵的組合性能)

這些泵可以裝或不裝擋板或阱。

二、術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于GB/T 19955的本部分。

2.1 體積流率(抽速) volume rate of flow(pump speed)

在理想狀態(tài)下，單位時間內(nèi)流經(jīng)泵入口的氣體體積。

但實(shí)際上，一個給定泵在規(guī)定的條件下工作，對于給定氣體的體積流率(S)，取該氣體的流量(Q)與在給定測試罩內(nèi)規(guī)定位置的平衡壓力(P)的商。即：

S=Q/P

體積流率采用的單位是立方米每小時(m3/h)或者升每秒(L/S)。對蒸汽流泵來說，只有當(dāng)P超過10P0時，本表達(dá)式才有效。此處的P0是用同一的真空計測量的極限壓力。

2.2 測試罩(test dome)

是個裝在泵入口具有規(guī)定形狀和尺寸的容器，被測量的氣體通過它進(jìn)入泵內(nèi)，其上裝有壓力測量裝置。

2.3 極限壓力(ultimate pressure)

泵在正常工作情況下，關(guān)閉進(jìn)氣閥，測試罩內(nèi)趨向的最低壓力。

GB/T 19955.2—2005 蒸汽流真空泵性能測量方法 第2部分:臨界前級壓力的測量

Vapour vacuum pump—Measurement of performance characteristics—Part 2:Measurement of critical backing pressure

(ISO 1608-2:1989.IDT)

GB/T 19955《蒸汽流真空泵性能測量方法》分為兩個部分：

第一部分：體積流率(抽速)的測量；

第二部分：臨界前級壓力的測量；

本部分為GB/T 19955的第2部分。

本部分等同于采用ISO 1608-2：1993《蒸汽流真空泵性能測量方法 第2部分:臨界前級壓力的測量》(英文版)

本部分代替JB/T 8472.2-1996《蒸汽流真空泵性能測量方法 第2部分:臨界前級壓力的測量》

一、范圍

1.1、GB/T 19955 的本部分規(guī)定了測量蒸汽流真空泵臨界前級壓力的方法。

注：臨界前級壓力是超過了影響泵工作狀態(tài)的前級壓力，當(dāng)超過此值時，泵不能正常工作。

蒸汽流泵的性能對前級壓力的依賴關(guān)系可用工作范圍的入口壓力和前級壓力的關(guān)系曲線圖來詳盡描述。

一般情況下，按3.1所規(guī)定的用單一參數(shù)規(guī)定臨界前級壓力是合適的。但就某些情況而言，特別是超高真空性能或者像氫和氦這樣的有關(guān)氣體的情況，可能需要完整的曲線。

1.2、本部分所涉及到得泵由下列3種油、汞蒸汽泵組成

蒸汽噴射真空泵

擴(kuò)散泵

擴(kuò)散噴射泵

二、規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過GB/T 19955的本部分的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有的修改單或者修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

GB/T 19955.1—2005 蒸汽流真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量(ISO 1608-1:1993,IDT)

三、術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于GB/T 19955的本部分。

3.1、臨界前級壓力 critical backing pressure

3.1.1、一般情況 general case

對于一指定流量來說，在最低前級壓力下，前級壓力增加微小百分?jǐn)?shù)就引起入口壓力規(guī)定數(shù)的百分?jǐn)?shù)增加。

注：在本部分中，該規(guī)定的百分?jǐn)?shù)增加的最小值為10%。

3.1.2、"空載"臨界前級壓力 “no-load”critical backing pressure

對應(yīng)于零流量時的臨界前級壓力。

3.1.3 、"滿載"臨界前級壓力 “full-load”critical backing pressure

對應(yīng)于泵穩(wěn)定工作最大流量時的臨界前級壓力

GB/T 19956.1—2005 容積真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量

Positive-displacement vacuum pumps—Measurement of performance characteristics—Part 1:Measurement of volume rate of flow(pumping speed)

(ISO 1607-1:1993,IDT)

GB/T 19956《容積真空泵性能測量方法》分為兩個部分：

第一部分：體積流率(抽速)的測量

第二部分：極限壓力的測量

本部分為GB/T 19956的第一部分。

本部分等同采用ISO 1607-1:1993《容積真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量》。

本部分代替JB/T 7266-1994《容積真空泵性能測量方法》。

一、范圍

GB/T 19956的本部分規(guī)定了容積真空泵體積流率測量方法，所研究的泵是直排大氣的并且單級獲得低于100Pa的入口極限壓力。

二、術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于GB/T 19956的本部分。

2.1、體積流率(抽速) volume rate of flow (pumping speed)

在理想狀態(tài)下，單位時間內(nèi)流經(jīng)泵入口的氣體體積。

但在實(shí)際上，一個給定泵在規(guī)定條件下工作，對給定氣體的體積流率(S)取該氣體的流量(Q)與在給定測試罩內(nèi)規(guī)定位置的平衡壓力(P)的商。即：

S=Q/P

體積流率采用的單位為立方米每小時(m3/h)或升每秒(L/S)

2.2、測試罩 test dome

是裝在泵入口具有規(guī)定形狀和尺寸的容器，被測量的氣體通過它進(jìn)入泵內(nèi)，其上裝有壓力測量裝置。

2.3、極限壓力 ultimate pressure

泵在正常工作情況下，關(guān)閉進(jìn)氣閥門，測試罩趨向的最低壓力。

三、裝置

3.1、測試罩

如圖所示，形狀為圓柱體。罩的軸向尺寸為1.5D，D為罩的內(nèi)徑。實(shí)驗(yàn)氣體進(jìn)口在罩的軸線上，并與連接法蘭的距離為D，進(jìn)氣口的排列應(yīng)使氣體自背離泵口的方向進(jìn)入測試罩。測量入口壓力和極限壓力的真空計在距離連接法蘭0.5D處，其軸線垂直于罩的軸線。測試罩的軸線應(yīng)垂直于泵入口法蘭平面。

GB/T 19956.2—2005 容積真空泵性能測量方法 第2部分:極限壓力的測量

Positive-displacement vacuum pumps—Measurement of performance characteristics—Part 2:Measurement of ultimate pressure

(ISO 1607-2:1989,IDT)

GB/T 19956《容積真空泵性能測量方法》分為兩個部分：

第一部分：體積流率(抽速)的測量

第二部分：極限壓力的測量

本部分為GB/T 19956的第二部分。

本部分等同采用ISO 1607-2:1993《容積真空泵性能測量方法 第2部分:極限壓力的測量》。

本部分代替JB/T 7266-1994《容積真空泵性能測量方法》。

一、范圍

GB/T 19956的本部分規(guī)定了容積真空泵極限壓力測量方法，所研究的泵是直排大氣的并且單級獲得低于100Pa的入口極限壓力。

二、規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過GB/T 19956的本部分的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

GB/T 19956.1—2005 容積真空泵性能測量方法 第1部分:體積流率(抽速)的測量(ISO 1607-1:1993,IDT)

三、術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于GB/T 19956的本部分。

3.1、極限壓力 ultimate pressure

泵在正常工作情況下，關(guān)閉進(jìn)氣閥門，測試罩趨向的最低壓力。在非可凝性氣體極限壓力和極限全壓力之間必定產(chǎn)生一個差別。

3.2、測試罩 test dome

是裝在泵入口具有規(guī)定形狀和尺寸的容器，被測量的氣體通過它進(jìn)入泵內(nèi)，其上裝有壓力測量裝置。

四、裝置

4.1、測試罩

如圖所示，形狀為圓柱體。罩的軸向尺寸為1.5D，D為罩的內(nèi)徑。實(shí)驗(yàn)氣體進(jìn)口在罩的軸線上，并與連接法蘭的距離為D，進(jìn)氣口的排列應(yīng)使氣體自背離泵口的方向進(jìn)入測試罩。測量入口壓力和極限壓力的真空計在距離連接法蘭0.5D處，其軸線垂直于罩的軸線。測試罩的軸線應(yīng)垂直于泵入口法蘭平面。